太【tài】阳能光伏电池（简【jiǎn】称【chēng】光伏电池）用于把太阳的光【guāng】能直接转化为【wéi】电能。目前地面光伏系统大量使用的【de】是【shì】以【yǐ】硅为【wéi】基底【dǐ】的硅太阳能电池，可分为单晶硅太阳能电池、多晶硅太阳能电池、非【fēi】晶硅太阳【yáng】能【néng】电池。在【zài】能【néng】量转换效率和【hé】使用【yòng】寿命【mìng】等综合性能方面，单晶硅和多晶硅电池优于非【fēi】晶硅电【diàn】池。多晶硅【guī】比单【dān】晶硅转【zhuǎn】换效【xiào】率低，但价格【gé】更【gèng】便宜。
单晶硅太阳能电池
硅系列太【tài】阳能电池中，单晶硅太阳能电池转换【huàn】效率最高，技术【shù】也最【zuì】为成熟。高性能单晶硅电池是建立【lì】在高质量单【dān】晶硅【guī】材料和相关成熟的加工处理工艺基础上的。单晶硅的电【diàn】池工艺已近【jìn】成熟，在电池制【zhì】作中，一般都采用表【biǎo】面织构化、发【fā】射区【qū】钝化、分区掺【chān】杂等技【jì】术【shù】，开发【fā】的电池【chí】主要有平面单晶硅电池和刻槽【cáo】埋栅【shān】电【diàn】极单【dān】晶硅电池。提高【gāo】转化效率主要是【shì】靠单晶硅表面微结构处理和【hé】分区【qū】掺杂工艺。
单【dān】晶【jīng】硅太阳能电池转换效率【lǜ】无【wú】疑是【shì】最高的，在【zài】大【dà】规模【mó】应用和工【gōng】业【yè】生产中仍占据主导地位【wèi】，但由于受单晶硅材【cái】料价格及相应的繁【fán】琐的电池工艺【yì】影响，致【zhì】使单晶硅成本价格居高不下，要想【xiǎng】大幅度降低其成本是非常困【kùn】难的。为了节省高质【zhì】量材料，寻找单晶【jīng】硅电【diàn】池【chí】的替【tì】代产品，发展了薄膜太【tài】阳能电【diàn】池，其中多晶【jīng】硅薄【báo】膜太阳【yáng】能电池和非晶硅薄膜太阳能电池就是典型代表。
多晶硅薄膜太阳能电池
通常的晶【jīng】体硅太【tài】阳【yáng】能电【diàn】池是在厚度350－450μm的高质【zhì】量硅片上【shàng】制成的，这种硅【guī】片从提拉【lā】或浇铸【zhù】的【de】硅锭上锯割而成。因此实际消耗的硅材料更多。为【wéi】了节省材料，人们从70年代【dài】中期就开始在【zài】廉价衬【chèn】底【dǐ】上沉积【jī】多晶硅薄【báo】膜，但由于【yú】生长的硅【guī】膜晶粒大小【xiǎo】，未能制【zhì】成有价值的太阳能电池。为了获得大尺【chǐ】寸【cùn】晶粒的薄膜，人们一【yī】直没有停止过研【yán】究，并提出【chū】了很多【duō】方法。制【zhì】备多晶硅薄膜电【diàn】池多采用化【huà】学气【qì】相沉积法，包括低压化学气相【xiàng】沉积【jī】（LPCVD）和【hé】等离子增【zēng】强化学气相沉积【jī】（PECVD）工艺。此外，液相【xiàng】外延法（LPPE）和溅射沉积法也可用来【lái】制备多【duō】晶硅薄膜电池。
多晶硅薄膜电池由于所【suǒ】使用的硅远较单【dān】晶硅【guī】少，又【yòu】无【wú】效率衰退问题，并且有可能在廉价衬底【dǐ】材料上【shàng】制备，其成本【běn】远【yuǎn】低于单【dān】晶硅【guī】电池【chí】，而效【xiào】率高于非【fēi】晶硅【guī】薄膜电池，因此，多晶硅薄膜电池【chí】不久将会在【zài】太阳能电地市场上占据主导地位【wèi】。
非晶硅薄膜太阳能电池
开发【fā】太阳能电池的两【liǎng】个关键问【wèn】题就【jiù】是：提高转换效率和降低成本。由于非晶硅薄膜太阳能电池的成本低，便于大【dà】规【guī】模生产，普遍受【shòu】到人们的重视并得【dé】到迅速发展，非晶硅薄膜太【tài】阳能电【diàn】池的制【zhì】备方法有很多，其中包括反应溅射法、PECVD法、LPCVD法等，反应原料气体【tǐ】为【wéi】H2稀释的【de】SiH4，衬底主【zhǔ】要为玻璃及不锈钢片，制成的非晶【jīng】硅【guī】薄【báo】膜经过【guò】不同【tóng】的电池【chí】工艺过程可分别制得单【dān】结电【diàn】池【chí】和【hé】叠【dié】层太阳【yáng】能【néng】电池【chí】。
非晶【jīng】硅太阳【yáng】能电池【chí】由【yóu】于具有较高【gāo】的转换效率和【hé】较低的成本及【jí】重【chóng】量轻【qīng】等【děng】特点，有着极【jí】大的潜力。但同【tóng】时由于它的稳定性不高，直接影响了它的【de】实际应【yīng】用。如果能进【jìn】一步解决稳定性问题及提高转换率【lǜ】问【wèn】题，那么【me】，非晶硅大阳能电池无【wú】疑【yí】是太阳能电池【chí】的主要发【fā】展产品之一。
